[发明专利]一种自激式固态射频发生器有效
| 申请号： | 201610860332.6 | 申请日： | 2016-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN106358358B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 李毅;郭洪民 | 申请（专利权）人： | 北京锐光仪器有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京市东方至睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11485 | 代理人： | 霍金虎 |
| 地址： | 102206 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种自激式固态射频发生器，属于射频技术领域。该自激式固态射频发生器包括放大电路、谐振回路、反馈电容、第一高频扼流圈和第二高频扼流圈；反馈电容用于将预定电压信号反馈给放大电路的栅极作为激励信号，谐振回路用于为放大电路提供谐振信号，第一高频扼流圈和第二高频扼流圈用于在放大电路中的两个功率器件交替导通时进行能量存储及能量释放，并在谐振回路上形成振荡信号及进行功率输出。本发明在第三高频线圈上形成振荡信号及进行功率输出，输出功率耦合到炬管中被激发的氩气，形成等离子炬，当负载变化时，谐振回路频率相应产生变化，由于电路响应速度较快，避免由于负载变化过大导致失谐使等离子炬熄灭。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固态 射频 发生器 | ||
【主权项】：
一种自激式固态射频发生器，其特征在于，包括放大电路、谐振回路、反馈电容、第一高频扼流圈和第二高频扼流圈；所述反馈电容用于将预定电压信号反馈给所述放大电路的栅极作为激励信号，所述谐振回路用于为所述放大电路提供谐振信号，所述第一高频扼流圈和第二高频扼流圈用于在所述放大电路中的两个功率器件交替导通时进行能量存储及能量释放，并在所述谐振回路上形成振荡信号及进行功率输出。
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