[发明专利]一种太赫兹近场成像系统及方法

摘要

本发明提供一种太赫兹近场成像系统及方法，所述太赫兹近场成像系统包括太赫兹相干光源模块、外腔光路模块及近场探针模块。本发明采用高功率太赫兹量子级联激光器产生高功率THz辐射，利用探针技术和激光器自混频效应探测目标的近场太赫兹信号，进而实现高分辨率成像功能。由于采用自混频效应代替近场探测器，光路系统简洁紧凑；近场探针反射的近场太赫兹信号与入射信号共光路，精度高且结构简单，显著改善了传统近场成像技术的缺陷，对高精度太赫兹成像技术的发展及应用具有积极的推动作用。

主权项

1.一种太赫兹近场成像系统，包括太赫兹相干光源模块、外腔光路模块及近场探针模块；其特征在于：所述太赫兹相干光源模块包括太赫兹光源及与所述太赫兹光源相连的锁相放大器；所述太赫兹光源用于产生太赫兹信号，并接收样品近场太赫兹信号的反射信号，以在所述太赫兹光源的谐振腔内产生自混频效应；所述锁相放大器用于探测所述太赫兹光源的自混频信号，以实现对成像采样位置的信号提取；所述外腔光路模块用于收集所述太赫兹光源发出的太赫兹信号，并汇聚至样品表面，其中汇聚至样品表面的太赫兹信号经样品反射，产生样品的近场太赫兹信号；所述外腔光路模块还用于收集样品的近场太赫兹信号的反射信号，并将该反射信号沿所述外腔光路模块的光路反向传输至所述太赫兹光源的出光端面，并在谐振腔内产生自混频效应；所述近场探针模块包括近场探针；所述近场探针用于反射样品的近场太赫兹信号，其中所述近场探针反射的近场太赫兹信号与入射信号共光路。