[发明专利]一种环形抛光机有效
申请号: | 201610856602.6 | 申请日: | 2016-09-27 |
公开(公告)号: | CN106392820B | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 焦翔;朱健强;樊全堂;谭小红 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | B24B13/01 | 分类号: | B24B13/01 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯;张宁展 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种新型环形抛光机,包括转台、抛光盘、限位滚轮机构和工件环,其中抛光盘的开槽或材料流动性能经过特殊设计,本发明解决了传统环形抛光机必须使用大尺寸校正板的问题,由于省去了校正板,该发明有助于降低抛光盘驱动电机的功率、降低设备成本、改善环形抛光机运转的稳定性、降低抛光盘盘面的温升、提高抛光盘盘面的利用率和抛光效率,并能延长抛光盘的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 抛光盘 环形抛光机 抛光 抛光机 材料流动性 尺寸校正 传统环形 降低设备 抛光效率 驱动电机 使用寿命 限位滚轮 新型环形 工件环 校正板 转台 开槽 温升 运转 | ||
【主权项】:
1.一种环形抛光机,包括转台(1)、抛光盘(2)、限位滚轮机构(3)和工件环(4),所述的抛光盘(2)上还设有窄槽,其特征在于,避免校正板的使用,所述的工件环(4)的内径小于抛光盘(2)的环带宽度,外径大于抛光盘(2)的环带宽度,所述的窄槽将抛光盘的盘面分成多个小单元,每个小单元的面积变化趋势是沿抛光盘(2)的半径从中心向边缘由小变大再变小。
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