[发明专利]流体静压缸及建立流体静压的方法

摘要

一种流体静压缸，包含一个缸体、一个活塞单元及一支活塞杆。该缸体包括一个能产生一个活塞腔的缸壁及至少一个与该活塞腔连通的进给流道，该活塞单元包括一个导流孔、数个由该导流孔朝一个外环面连通的分流道及数个由该外环面凹设且分别连通于所述分流道的压力槽，该活塞杆连接于该活塞单元。一种建立流体静压的方法是利用该活塞单元的结构，能使压力流体导入该活塞腔后，在该活塞单元与该缸体之间产生一个流体静压轴承，且使该活塞单元与该缸体相对运动时无摩擦力产生，动态特性佳且能达到超精密微进给的目的。

主权项

一种流体静压缸，包含一个缸体、一个活塞单元及一支活塞杆，该流体静压缸的特征在于：该缸体，沿一条轴线延伸，并包括一个围绕该轴线且能产生一个活塞腔的缸壁及至少一个与该活塞腔连通的进给流道；该活塞单元，能沿该轴线滑动且设置于该活塞腔，且将该活塞腔区隔成一个第一区域及一个第二区域，该活塞单元包括一个相邻于该第一区域的第一端面、一个沿该轴线相反于该第一端面且相邻于该第二区域的第二端面、一个连接于该第一端面与该第二端面之间且相对于该缸壁的外环面、一个由该第一端面朝该第二端面延伸的导流孔、数个由该导流孔朝该外环面连通的分流道及数个由该外环面凹设且分别连通于所述分流道的压力槽；该活塞杆，沿该轴线延伸，包括一个对应于该第二端面且连接于该活塞单元的内侧端及一沿该轴线相反于该内侧端且伸设于该缸体外部的外侧端。