[发明专利]一种超声辅助激光的陶瓷刻蚀系统及方法在审
| 申请号： | 201610853415.2 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN106238918A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 王成勇;王宏建;林华泰;郑李娟;胡小月;伍尚华;王启民;郭伟明 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/402;B23K26/60;B23K26/70 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司44214 | 代理人： | 张文 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超声辅助激光的陶瓷刻蚀系统及方法，该系统包括超精密运动平台、超声振动平台、超声波发生器、气体喷嘴及激光加工系统，刻蚀方法包括超声清洗、调节平台、激光对焦、刻蚀加工、二次清洗等步骤，本发明采用激光刻蚀的同时辅助以超声振动，从而让陶瓷刻蚀槽内的熔渣容易喷出，使激光得以对未加工的材料部分进行刻蚀，提高了刻蚀精度和加工质量。本发明将激光与超声两种加工方法相结合，充分发挥了两种加工方法的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声 辅助 激光 陶瓷 刻蚀 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种超声辅助激光的陶瓷刻蚀系统，其特征在于：包括超精密平台、超声振动平台、超声波发生器、气体喷嘴、激光加工系统；所述的超精密平台可沿水平面移动；所述的超声振动平台固定于超精密平台上方，用于放置陶瓷工件；所述的超声波发生器设于超声振动平台内；激光加工系统包括激光器、反射镜、聚焦装置，聚焦镜位于聚焦装置内部；聚焦装置位于超声振动平台上方；聚焦装置侧边设有气体喷嘴。
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