[发明专利]基于激光全息石墨烯金属复合表面拉曼增强基底加工方法有效
| 申请号： | 201610846211.6 | 申请日： | 2016-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN106324729B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 邹文龙;邹颖 | 申请（专利权）人： | 苏州六三二八光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/02 | 分类号： | G02B5/02 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于激光全息石墨烯金属复合表面拉曼增强基底加工方法，在光栅基片上生长石墨烯膜层然后在石墨烯膜层上涂布光刻胶；利用了光线干涉条纹周期性分布并且条纹形状的可控特征，采用正交全息干涉光刻方案制作表面拉曼增强基底，在光刻胶薄膜上记录正交的干涉条纹，通过实时显影，形成表面浮雕型的光刻胶光栅；然后再用离子束刻蚀的方法将光栅结构转移到石墨烯上；最后在光刻胶光栅上用镀膜设备镀表面增强拉曼散射金属活性层，对光刻胶剥离从而得到石墨烯金属符合结构表面拉曼增强基底。解决了石墨烯金属复合结构表面拉曼增强基底难以加工制作的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 全息 石墨 金属 复合 表面 增强 基底 加工 方法 | ||
【主权项】：
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