[发明专利]一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺

摘要

本发明公开的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，克服了现有双面研磨后蓝宝石衬底片清洗过程中需要用到多种化学试剂对蓝宝石衬底片表面残留的碳化硼微粉进行去除，清洗废液难处理，对环境污染大的缺点，使用本发明的清洗工艺，可有效减少表面碳化硼微粉残留，降低高温退火后蓝宝石衬底片表面的油亮斑比例，减少蓝宝石衬底片的返工成本，杜绝蓝宝石衬底片的报废情况，从而达到提高蓝宝石衬底片质量，降低蓝宝石衬底片生产成本的目的。

主权项

1.一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其特征在于，具体步骤如下：（1）将双面研磨后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min，清洗完成后取出，并在室温下自然晾干；（2）将晾干后的蓝宝石衬底片放入超声清洗槽内，随后向超声清洗槽内放置氧化铝（AL2O3），氧化铝没过蓝宝石衬底片上表面3～5mm；（3）启动超声清洗槽，使用频率40～60KHZ的超声，设置超声强度为60W/cm2～80W/cm2，超声震洗15min；（4）将步骤（3）中，超声震洗后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；（5）将步骤（4）中，清洗后的蓝宝石衬底片放入清洗碱液内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；（6）将步骤（5）中，碱液清洗后的蓝宝石衬底片放入16M纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；（7）将步骤（6）中，超声清洗后的蓝宝石衬底片用甩干机在1800rpm转速下甩干180秒，得到清洗干净的蓝宝石衬底片；其中，所述氧化铝（AL2O3）的粒径在W80～W120之间，所述清洗碱液由分析纯AR级氢氧化钠（NaOH）与16M纯水以1kg：10L的配比制得。