[发明专利]一种金刚石线锯水基切削液在审
申请号: | 201610834769.2 | 申请日: | 2016-09-13 |
公开(公告)号: | CN106635362A | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 邓宝祥;陈仁芳;王晴晴 | 申请(专利权)人: | 天津工业大学 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10N30/06 |
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地址: | 300387 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种金刚石线锯水基切削液,其组成成分按质量分数计为脂肪醇聚16~40份、腐蚀抑制剂0.05~0.5份、消泡剂O.1~1份、去离子水60~85份。本发明所述的水基切削液专门适用于金刚石线锯切割硅锭技术,具有低表面张力的特点,在切割过程中切削液能快速渗透到切割区域的缝隙中,起到润滑的作用;脂肪醇聚醚对切屑具有良好的分散作用,防止了切屑的团聚,提高了硅片的表面质量;此切削液还具有冷却性强、对环境友好、成本低的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 线锯水基 切削 | ||
【主权项】:
一种金刚石线锯水基切削液,其特征在于,包括如下质量分数的组分:
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