[发明专利]磁头滑块的加工测试方法、加工测试监控装置及加工设备有效
| 申请号： | 201610814757.3 | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN107808675B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李文杰;陈建伦;傅之浩;余枝超;余俊杰;谢珉;梁卓荣;丁菊仁 | 申请（专利权）人： | 新科实业有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/127 | 分类号： | G11B5/127;G05B15/02 |
| 代理公司： | 深圳永慧知识产权代理事务所(普通合伙) 44378 | 代理人： | 宋鹰武 |
| 地址： | 中国香港新界沙田香*** | 国省代码： | 香港;81 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本专利申请公开了一种磁头滑块的加工测试方法、加工测试监控装置及加工设备，所述磁头滑块的加工测试方法包括：提供至少一个应力传感器于晶圆中，以及提供控制装置与所述应力传感器连接；利用加工装置将所述晶圆加工成磁头滑块，所述控制装置在磁头滑块加工过程中监控所述应力传感器的性能参数以确定当前加工参数是否合适，并在当前加工参数不合规格时，向所述加工装置发出调整信号，所述加工装置根据所述调整信号调整加工参数。本专利申请可以实时监控磁头滑块的加工测试，从而更有效方便地对磁头滑块进行加工测试。 | ||
| 搜索关键词： | 磁头 加工 测试 方法 监控 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种磁头滑块的加工测试方法，其特征在于，包括：提供至少一个应力传感器于晶圆中，以及提供控制装置与所述应力传感器连接；利用加工装置将所述晶圆加工成磁头滑块，所述控制装置在磁头滑块加工过程中监控所述应力传感器的性能参数以确定当前加工参数是否合适，并在当前加工参数不合规格时，向所述加工装置发出调整信号，所述加工装置根据所述调整信号调整加工参数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新科实业有限公司，未经新科实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610814757.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
