[发明专利]一种柔性太赫兹超材料吸波器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种柔性太赫兹超材料吸波器及其制作方法；所述吸波器由上至下依次包括一层图形化的金属薄膜、一层柔性介质薄膜和一层连续的金属薄膜；所述吸波器的制作方法为：在柔性介质薄膜的一个表面沉积一层连续的金属薄膜；将图形化的遮掩薄膜覆盖在柔性介质薄膜的另一个表面上，然后在表面沉积另一层金属薄膜，再将遮掩薄膜与柔性介质薄膜分开，在柔性介质薄膜的另一个表面上得到具有与遮掩薄膜互补图案的图形化的金属薄膜。本发明的柔性太赫兹超材料吸波器具有柔性、可伸缩的特点，能够通过施加外力发生弯曲，由此改变其吸收系数，因此可以很方便地调节其太赫兹响应性能，并且本发明的制作方法简单，且所制成的遮掩薄膜可多次重复利用。

主权项

1.一种柔性太赫兹超材料吸波器，其特征在于：所述吸波器由上至下依次包括一层图形化的金属薄膜、一层柔性介质薄膜和一层连续的金属薄膜；所述图形化的金属薄膜的金属图形呈现为太赫兹响应图形；当在外力作用下吸波器向底层金属方向弯曲、形成凹面时，相对未受外力作用时吸波器的响应频率发生红移，而且弯曲程度越大，则红移越明显；当在外力作用下吸波器向表层金属方向弯曲、形成凸面时，相对未受外力作用时吸波器的响应频率发生蓝移，而且弯曲程度越大，则蓝移越明显；所述柔性介质薄膜为聚酰亚胺薄膜、聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚苯乙烯薄膜、苯并环丁烯薄膜、派瑞林薄膜、氮化硅薄膜、非晶硅薄膜、氮氧化硅薄膜、氧化铝薄膜、氧化铬薄膜和氧化铬铝薄膜中的一种或几种的复合物，柔性介质薄膜的厚度为1‑100μm，介电常数为1‑12；所述图形化的金属薄膜的金属图形呈现为方型的周期性结构图形，能够通过外力弯曲的形式对所述吸波器的太赫兹响应特性进行调节：P为方块单元周期边长72μm，a为方型边长52μm。