[发明专利]微电子装置和相对应的用于微电子装置的制造方法在审
| 申请号： | 201610812666.6 | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN106525250A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | F.乌特默伦;F.亨里奇;I.赫尔曼 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;G01J5/20;G01J5/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 胡莉莉,杜荔南 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子装置和相对应的用于微电子装置的制造方法。本发明提出了一种用于探测电磁波的微电子装置（100）。该微电子装置（100）包括传感器衬底（10），所述传感器衬底（10）具有装配面（11）和至少一个探测区域（15）；和被布置在所述装配面（11）上的至少一个透镜衬底。所述至少一个透镜衬底具有至少一个空腔（K1），而且所述至少一个空腔（K1）密封地包围所述至少一个在衬底级上的探测区域（15）。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 装置 相对 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
用于探测电磁波的微电子装置（100），所述微电子装置（100）包括：具有装配面（11）和至少一个探测区域（15）的传感器衬底（10）；和至少一个透镜衬底（20），所述透镜衬底（20）被布置在所述装配面（11）上；其中所述至少一个透镜衬底（20）具有至少一个空腔（K1）并且所述至少一个空腔（K1）密封地包围在衬底级上的所述至少一个探测区域（15）。
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