[发明专利]编码器

摘要

本发明涉及一种编码器。标尺包括在测量方向上布置的光栅图案。检测头可以相对于标尺在测量方向上移动，并且输出指示图案的检测结果的电信号。运算单元计算检测头相对于标尺的相对位移。检测头使光照射标尺。光接收单元包括在测量方向上布置的光接收元件阵列、并且将施加至光接收元件阵列的照射光的检测结果作为电信号输出。光学系统通过使用在测量方向上布置的透镜阵列使来自标尺的光在光接收单元的光接收表面上形成干涉条纹。透镜阵列中的邻接透镜之间的透镜阵列间距不等于光栅图案的间距的整数倍。

主权项

一种编码器，包括：标尺，所述标尺上形成有在测量方向上布置的图案；检测头，所述检测头配置为相对于所述标尺在所述测量方向上移动，并且输出指示所述图案的检测结果的电信号；以及运算单元，所述运算单元配置为根据所述电信号来计算所述检测头相对于所述标尺的相对位移，其中，所述检测头包括：光源，所述光源配置为使光照射所述标尺；光接收单元，所述光接收单元包括在所述测量方向上布置的光接收元件阵列，并且配置为将施加至所述光接收元件阵列的照射光的检测结果作为所述电信号输出；以及光学系统，所述光学系统配置为正像光学系统，所述正像光学系统配置为通过使用在所述测量方向上布置的透镜阵列使来自所述标尺的光在所述光接收单元的光接收表面上形成干涉条纹，其中，所述透镜阵列中的邻接透镜之间的间距不等于所述图案的间距的整数倍。