[发明专利]一种气动阀控制方法在审
| 申请号： | 201610809335.7 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN107806526A | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 姜翼展 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/02 | 分类号： | F16K31/02;F16K37/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气动阀控制方法，属于半导体装备领域。其中包括如下几个模块工控机(1)、loopmaster板卡(2)、PDI控制器(3)、阀岛(4)、气阀(5)、到位传感器(6)。其中工控机发送命令，由loopmaster板卡建立光纤通信，PDI控制器接受到光纤信号转换为电信号传送给阀岛，阀岛控制相应气路开闭，使气阀完成具体动作，并通过到位传感器反馈位置信号给PDI控制器，并传送回工控机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气动阀 控制 方法 | ||
【主权项】：
本发明公开了一种气动阀控制方法，包括如下几个模块：工控机(1)、loopmaster板卡(2)、PDI控制器(3)、阀岛(4)、气阀(5)、到位传感器(6)。其中工控机(1)用于发送命令以及监控反馈信号，loopmaster板卡(2)用于建立光纤通信，PDI控制器(3)用于发送控制信号，阀岛(4)接收控制信号并控制气路开闭，气阀(5)完成具体动作，并通过到位传感器(6)将到位情况反馈给PDI控制器(3)。
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