[发明专利]一种射频放电条纹自适应的等离子体装置有效
| 申请号： | 201610807591.2 | 申请日： | 2016-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN106470522B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 黎威志;李方圆;李航;徐智;程金宝 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 谢建;赵宇 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频放电条纹自适应的等离子体装置，属于电子仪器领域中的等离子体装置，其目的在于提供一种射频放电条纹自适应的等离子体装置，提高辉纹稳定性监测的精度。其包括辉纹发生装置、辉纹检测装置、数据处理装置；辉纹发生装置的射频电源通过连接电缆分别与辉纹发生装置的等离子腔内的阳极、阴极电连接，并在阳极与阴极之间形成辉纹；辉纹检测装置的CCD摄像头通过检测光路中的准直聚焦透镜实时采集辉纹的条纹间距；数据处理装置的ARM处理器的信号输入端与CCD摄像头电连接，数据处理装置的ARM处理器的信号输出端与射频电源电连接。本发明适用于等离子体装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 放电 条纹 自适应 等离子体 射频 电源 装置 | ||
【主权项】：
1.一种放电条纹自适应的等离子体射频电源装置，其特征在于：包括辉纹发生装置、对辉纹发生装置产生的辉纹进行条纹间距检测的辉纹检测装置、对辉纹检测装置的检测信号进行分析处理并根据分析处理结果控制射频电源（8）输出信号的频率的数据处理装置；辉纹发生装置的射频电源（8）通过连接电缆分别与辉纹发生装置的等离子腔（9）内的阳极（4）、阴极（6）电连接，并在阳极（4）与阴极（6）之间形成辉纹（5）；辉纹检测装置的CCD摄像头（1）通过检测光路中的准直聚焦透镜（2）实时采集辉纹（5）的条纹间距；数据处理装置的ARM处理器（7）的信号输入端与CCD摄像头（1）电连接，数据处理装置的ARM处理器（7）的信号输出端与射频电源（8）电连接；通过直接监测辉光条纹间距的稳定性来实时调整射频电源的输出信号的频率，从而获得稳定的辉纹。
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