[发明专利]微型流体控制装置

摘要

一种微型流体控制装置，包含压电致动器及壳体，压电致动器具有悬浮板、外框、支架以及压电陶瓷板，悬浮板为正方形型态，具有第一及第二表面，且第二表面上具有凸部，外框环绕设置于悬浮板之外，亦具有第一及第二表面，外框的第二表面与悬浮板的第二表面的凸部之外的区域均为共平面；壳体包括集气板及底座，集气板为具有容置空间的框体结构，底座由进气板及共振片接合而成，并设置于容置空间中，以封闭压电致动器；其中，压电致动器的外框的第二表面与底座的共振片之间设置一胶层，以使压电致动器与共振片之间维持需求的压缩腔室的深度。

主权项

一种微型流体控制装置，包含：一压电致动器，具有一悬浮板、一外框、至少一支架以及一压电陶瓷板，该悬浮板为正方形型态，且具有一第一表面及相对应的一第二表面，且该第二表面上具有一凸部，该外框环绕设置于该悬浮板的外侧，且亦具有一第一表面及相对应的一第二表面，且该外框的该第二表面与该悬浮板的该第二表面的该凸部之外的区域均为共平面，该至少一支架连接于该悬浮板与该外框之间，该压电陶瓷板具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的该第一表面上；以及一壳体，包括一集气板及一底座，该集气板为周缘具有一侧壁以构成一容置空间的一框体结构，使该压电致动器设置于该容置空间中，而该底座由一进气板及一共振片相接合而成，并结合于该集气板的该容置空间中，以封闭该压电致动器，该进气板具有至少一进气孔及与之相连通的至少一总线孔，以构成一汇流腔室，该共振片设置固定于该进气板上，并具有一中空孔洞，相对于该进气板的该汇流腔室，且对应于该悬浮板的该凸部；其中，该压电致动器的外框的该第二表面与该底座的该共振片之间设置一胶层，以使该压电致动器与该底座的该共振片之间维持构成需求的该压缩腔室的一深度。