[发明专利]彩色光阻剂或有机系绝缘膜剥离液组合物有效
申请号: | 201610796495.2 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN106959589A | 公开(公告)日: | 2017-07-18 |
发明(设计)人: | 白钟旭;金佑逸;崔汉永 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人: | 钟晶;陈彦 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及彩色光阻剂或有机系绝缘膜剥离液组合物。本发明涉及包含无机碱或其盐化合物、有机季铵碱、极性有机溶剂、亚烷基二醇烷基醚、特定结构的胺化合物和肟系剥离促进剂、防腐蚀剂等的彩色光阻剂或有机系绝缘膜剥离液组合物。 | ||
搜索关键词: | 彩色 光阻剂 有机 绝缘 剥离 组合 | ||
【主权项】:
一种彩色光阻剂或有机系绝缘膜剥离液组合物,其特征在于,包含:(A)无机碱或其盐化合物、(B)有机季铵碱、(C)极性有机溶剂、(D)下述化学式1或化学式2的化合物、(E)被C1~C6的烷氧基或C2~C6的环状醚基取代且包含在主链含有或不含氧(‑O‑)的C1~C6的烷基的胺化合物、(F)亚烷基二醇烷基醚、(G)下述化学式3的肟系剥离促进剂、(H)防腐蚀剂、和(I)水,化学式1所述化学式1中,R1为C1~C6的亚烷基或‑R2‑O‑R3‑,所述R2和R3各自独立地为C1~C6的亚烷基,n1和n2各自独立地为1~6的整数,化学式2所述化学式2中,X为R4为C1~C6的直链或支链烷基,R5为氢或氨基,m为1~3的整数,n3为1~70,化学式3所述化学式3中,R1和R2各自独立地为氢、C1~C20的取代或未取代的脂肪族烃、C4~C20的取代或未取代的芳香族烃、或所述R1和R2结合形成环或不形成环,所述芳香族烃包含或不包含杂原子,所述R3为氢、C1~C20的取代或未取代的脂肪族烃、C4~C20的取代或未取代的芳香族烃。
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