[发明专利]一种集成冷却装置的高亮度紫外光源有效
| 申请号： | 201610791833.3 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106992110B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 谢英英;刘锐;何梁;赵嘉峰 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J61/52 | 分类号： | H01J61/52;H01J61/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200439 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种集成冷却装置的高亮度紫外光源，包括冷却装置、等离子保持器、射频电场聚焦器、密封固定装置。本发明装置利用射频聚焦等离子共振技术在局部空间形成高密度的射频电场(电场强度可以达到107V/m)，可以直接电离激发等离子，不需要传统的点火装置，简化了系统，提高了实用和稳定性；通过对射频电场聚焦器、等离子保持器尺寸参数、进气参数进行合理配置，可以实现1018photons/(Sr*S)以上级别的紫外光发光强度；本发明装置不受传统的工作气体限制，可以使用多种不同的工作气体，发出的紫外光能量可以覆盖4～50eV；另外本发明的装置可有10000小时以上的超长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 冷却 装置 亮度 紫外 光源 | ||
【主权项】：
1.一种集成冷却装置的高亮度紫外光源，其特征在于：包括冷却装置、等离子保持器、射频电场聚焦器、密封固定装置；所述密封固定装置包括真空接口；所述射频电场聚焦器为等离子局域场型电场聚焦器，包括射频源、天线、内导体和外导体；所述天线第一端与所述射频源电性连接，所述天线第二端与所述外导体电性连接；所述等离子保持器包括光传导部和进气口；所述等离子保持器至少一部分位于所述射频电场聚焦器的能量聚焦范围内；所述内导体包含流体通道；所述冷却装置包括流体输出端，所述流体输出端与所述流体通道相通；所述密封固定装置设置有流体出口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于费勉仪器科技（上海）有限公司，未经费勉仪器科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610791833.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
