[发明专利]一种甲醛气体检测用红外滤光片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种甲醛气体检测用红外滤光片及其制备方法，红外滤光片基底材料选用单晶Si，高折射率材料选用Ge，低折射率材料选用ZnS。在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜，其镀膜工艺条件是Ge选用电子束蒸镀，沉积速率为ZnS选用多孔钼舟电热蒸镀，沉积速率为开始蒸镀真空度为1.0×10^‑3Pa，沉积温度为130℃。本发明得到的5768nm带通红外滤光片，峰值透过率可达90％以上，极大的提高信噪比，很好的抑制其他气体的干扰，提高仪器探测精度和效能。

主权项

1.一种甲醛气体检测用红外滤光片，其特征在于：(1)采用单晶Si作基板；硅双面抛光，厚度300±10μm，晶向<100>；(2)镀膜材料选择硫化锌ZnS和单晶锗Ge，在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜；(3)主膜系面薄膜结构采用Sub/(HL)6H(LH)L(HL)4H(LH)L(HL)6H(LH)L/Air；(4)干涉截止膜系面薄膜采用：Sub/0.485(HL)70.71(HL)71.4(HL)7/Air；膜系中符号含义分别为：Sub为基板，Air为空气，H和L分别代表高折射率材料Ge膜层和低折射率材料ZnS膜层的一个1/4波长光学厚度，中心波长λ＝5768nm，1H＝(4nHd)/λ；1L＝(4nLd)/λ，结构式中数字为膜层的厚度系数、结构式中的指数是膜堆镀膜的周期数；所述红外滤光片，主膜系采用多腔窄带膜系结构，配合高截止深度的干涉截止膜系，中心波长为5768nm，5700nm～5840nm波段平均透过率为91.87％，半高宽为190nm；除中心波长5768nm带宽190nm的通带外，从2500～10000nm范围内的其余光谱全部截止，2500～5600平均透射率为0.16％，5940～10000平均透射率为0.3％。