[发明专利]一种六氟化硫气体检测用红外滤光片及其制备方法有效
| 申请号： | 201610768860.9 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106125183B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 刘桂武;张旭;邵海成;侯海港 | 申请（专利权）人： | 镇江爱豪科思电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G01N21/3504 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 卢亚丽 |
| 地址： | 212009 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种六氟化硫气体检测用红外滤光片及其制备方法，红外滤光片基底材料选用单晶Si，高折射率材料选用Ge，低折射率材料选用ZnS。在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜。其镀膜工艺条件是Ge选用电子束蒸镀，沉积速率为 |
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| 搜索关键词： | 一种 六氟化硫 气体 检测 红外 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种六氟化硫气体检测用红外滤光片，其特征在于：(1)采用单晶Si作基板；硅双面抛光，厚度300±10μm，晶向<100>；(2)镀膜材料选择硫化锌ZnS和锗Ge，在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜；(3)主膜系面薄膜结构采用Sub/(HL)6H(LH)L(HL)4H(LH)L(HL)6H(LH)L/Air；(4)干涉截止膜系面薄膜采用：Sub/0.265(0.5HL0.5H)60.378(0.5HL0.5H)60.53(0.5HL0.5H)60.738(0.5HL0.5H)6/Air；膜系中符号含义分别为：Sub为基板，Air为空气，H和L分别代表高折射率材料Ge膜层和低折射率材料ZnS膜层的一个1/4波长光学厚度，中心波长λ＝10560nm，1H＝(4nHd)/λ；1L＝(4nLd)/λ，结构式中数字为膜层的厚度系数、结构式中的指数是膜堆镀膜的周期数；所述红外滤光片，主膜系采用多腔窄带膜系结构，配合高截止深度的干涉截止膜系，中心波长为10560nm，10420nm～10700nm波段平均透过率为91.86％，半高宽为370nm；除中心波长10560nm带宽370nm的通带外，从1000～13000nm范围内的其余光谱全部截止，1000～10250nm平均透射率为0.27％，10870～13000平均透射率为0.4％。
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