[发明专利]用于通用型激光剥蚀等离子体质谱仪样品池中的样品托盘有效
申请号: | 201610761548.7 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN106198709B | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 李登峰;孙晓明;付宇;任颖芝;廖健林;黎文浩 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62;H01J49/02 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 林丽明 |
地址: | 510275 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种用于通用型激光剥蚀等离子体质谱仪样品池中的样品托盘,托盘成圆盘状,托盘限定了顶面和底面,顶面开设有两对称设置的样品靶,样品靶向内凹陷成圆孔但不穿过底面,样品靶顶部设有两对称设置的弧形凸延,弧形凸延上表面与托盘顶面平齐,托盘侧部圆周面上还设置有凹槽。本发明放置于激光剥蚀等离子体质谱仪的样品池内,适用于激光剥蚀系统样品池中样品的固定,通过减小样品池体积,稳定气流方向,使样品检测更精确;同时,减少载气体在样品池形成的漩涡现象,载气体使用量明显减少,并加快了样品池清洗时间,从而达到快速精准的检测分析效果。 | ||
搜索关键词: | 用于 通用型 激光 剥蚀 等离子体 质谱仪 样品 中的 托盘 | ||
【主权项】:
1.一种用于通用型激光剥蚀等离子体质谱仪样品池中的样品托盘,托盘成圆盘状,其特征在于:托盘限定了顶面和底面,顶面设置有样品靶,样品耙从顶面向内凹陷成圆孔但不穿过底面,所述样品耙上设有弧形凸延,所述弧形凸延上表面与托盘顶面平齐,弧形凸延对称设置有两个,两个所述弧形凸延之间形成两个卡口;弧形凸延用于固定样品座,样品放置在样品座上;所述圆孔内设有弹簧,弹簧一端固定在样品座底部,另一端抵顶样品靶底部,样品座上放置待测样品,样品座在弹簧作用力下固定在样品靶顶部的两个弧形凸延上;所述托盘侧部圆周面上设置有凹槽,凹槽贯通托盘的顶面和底面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山大学,未经中山大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610761548.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。