[发明专利]一种新型熔融石英坩埚的制备方法

摘要

本发明公开了一种新型熔融石英坩埚的制备方法，包括步骤A、将SiO2粉体、氧化锆研磨球、去离子水以质量比1:2.8:0.5进行初次球磨；研磨完毕后，在球磨罐中加入乳酸、酒石酸、碳酸氢三钠，然后继续研磨，研磨结束后，将过滤得到的料浆用去离子水定容，制成料浆；B、振动注浆成型：将步骤A中制得的料浆倒入石膏模具中，将模具固定在振动仪中震荡，脱模得到生坯；C、干燥：将步骤B中的生坯在室温空气中干燥30‑40h；然后再将生坯放置于鼓风干燥箱中继续干燥；D、烧成：将步骤C中干燥完毕的生坯在高温炉中以1175‑1200℃温度烧制成型。本发明中制备石英坩埚的方法，从制备浆料入手，严格控制每一项工艺的参数，以达到制备微观相均匀的、强度好的石英坩埚的目的。

主权项

一种新型熔融石英坩埚的制备方法，其特征在于包括如下步骤：A、制备料浆：将粒径为150‑200μm的SiO2粉体、氧化锆研磨球、去离子水以质量比1:2.8:0.5放置于球磨罐中，在800‑850r/min转速下进行初次球磨，研磨时间为6‑14h；研磨完毕后，在球磨罐中加入占SiO2粉体质量为0.55‑0.72%的乳酸、0.1‑0.15%酒石酸、0.1‑0.2%碳酸氢三钠，然后在500‑550r/min转速下继续研磨2‑3h，研磨结束后，将过滤得到的料浆用去离子水定容，制成固含量为70‑78vol%的料浆，即为所需料浆；B、振动注浆成型：将步骤A中制得的料浆倒入石膏模具中，将模具固定在振动仪中震荡20‑30min，脱模得到生坯；C、干燥：将步骤B中的生坯在室温空气中干燥30‑40h，其中室温不超过30℃，空气湿度不超过60%；然后再将生坯放置于鼓风干燥箱中，在60‑75℃条件下干燥30‑48h；D、烧成：将步骤C中干燥完毕的生坯在高温炉中以1175‑1200℃温度烧制成型，保温时间为2.5‑4h，即制成所需熔融石英坩埚。