[发明专利]薄膜电路带孔瓷片光刻真空夹具

摘要

本发明公开的一种薄膜电路带孔瓷片光刻真空夹具，旨在提供一种装夹方便，通用性强，成品率高的真空吸附夹具。本发明通过下述技术方案予以实现：吸附台(2)制有以导气孔(4)为中心，绕过对位标记线(6)自由端上的标线端点真空吸附孔(17)，构成矩形环槽的内环密封槽(12)，内环密封槽区域内制有正交导气孔，与上述矩形环槽对角线重合辐射的十字交叉导气槽(14)，在十字交叉的四个端点上制有真空吸附孔(16)，在内环密封槽(12)外围制有通过对位标记线根部矩构成形环槽的中层导气槽(15)，以及围绕所述中层导气槽的外层内环密封槽(13)，真空吸附孔分布在瓷片工件承载面的四角连通十字交叉导气槽，工作时吸住瓷片的四角固定瓷片工件。

主权项

一种薄膜电路带孔瓷片光刻真空夹具，包括：对位分流底盘1及其位于圆周角平分线上的对位标记线(6)和设置在所述对位分流底盘1底盘下端安装槽(5)内的吸附台(2)，其特征在于：对位分流底盘(1)制有由三个不同直径同心圆平台构成的两个圆平面，圆平台中心制有导气孔(4)和位于导气孔(4)外侧的凹槽(11)及其形成的吸附面(7)和密封面(8)，其中位于导气孔(4)两侧的凹槽(11)形成了与真空设备互相气密的两路气路；连接同心圆平台的法兰圆环面(9)相邻根部的一侧制有移动对位导气孔(3)，另一侧制有传感器架空槽(10)；吸附台(2)制有以导气孔(4)为中心，绕过对位标记线(6)自由端上的标线端点真空吸附孔(17)，构成矩形环槽的内环密封槽(12)，在所述内环密封槽(12)区域中心制有导气孔(4)，与上述矩形环槽对角线重合辐射的十字交叉导气槽(14)，在十字交叉的四个端点上制有真空吸附孔(16)，在内环密封槽(12)外围制有通过对位标记线(6)根部矩构成形环槽的中层导气槽(15)，以及围绕所述中层导气槽(15)的外环密封槽(13)，真空吸附孔(16)分布在瓷片工件承载面的四角与十字交叉导气槽(14)贯通相连，工作时吸住瓷片的四角固定瓷片工件。