[发明专利]一种水基切割液在审
申请号: | 201610722796.0 | 申请日: | 2016-08-25 |
公开(公告)号: | CN106336938A | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 刘瑞鸿;孙培亚;余刚 | 申请(专利权)人: | 镇江荣德新能源科技有限公司 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10N30/06;C10N30/10;C10N30/12 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人: | 严巧巧 |
地址: | 212200 江苏省镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种水基切割液,包括按照以下重量百分比组成的各个组分乙二醇65%~70%,油酸三乙醇胺2%~4%,非离子表面活性剂3%~5%,极压抗磨剂1%~5%,水20%~30%。本发明的切割液中增加了极压抗磨剂,使得切割液的表面张力降低,大大提高了切割液的流动性和渗透性,极大提高了切割液对磨料的润湿性,提高了磨料的分散性,避免磨料团聚结成块对硅片带来损坏,有利于提高硅片切割的成品率;且可在硅片表面形成保护膜,使硅片更容易被清洗,且提高了切割液的润滑效果、耐磨性及冷却性。 | ||
搜索关键词: | 一种 切割 | ||
【主权项】:
一种水基切割液,其特征在于:包括按照以下重量百分比组成的各个组分:乙二醇65%~70%,油酸三乙醇胺2%~4%,非离子表面活性剂3%~5%,极压抗磨剂1%~5%,水20%~30%。
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