[发明专利]涂布装置在审
| 申请号： | 201610718005.7 | 申请日： | 2016-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN106493041A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 铃木晓雄 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05C11/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供涂布装置，能够通过提高涂布膜形成结束时的止液的响应性而形成均匀厚度的涂布膜。该涂布装置具有载台部，其对基板进行载置；以及涂布液提供部，其向涂布喷嘴提供涂布液，一边将从涂布液提供部提供的涂布液从涂布喷嘴喷出，一边使涂布喷嘴与载台部相对地移动，从而在基板上形成涂布膜，该涂布装置还具有涂布液吸引部，其对涂布喷嘴内的涂布液进行吸引，涂布液吸引部具有吸引源以及吸引用容器，该吸引用容器配置于将该吸引源与涂布喷嘴连结的配管路径中，其直径比配管的直径大，涂布液吸引部的吸引动作是在来自涂布喷嘴的涂布液的液面存在于吸引用容器的状态下通过吸引源使吸引用容器内减压而进行的。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布装置，其具有：涂布喷嘴，其喷出涂布液；载台部，其对基板进行载置；以及涂布液提供部，其对所述涂布喷嘴提供涂布液，该涂布装置一边将从所述涂布液提供部提供的涂布液从所述涂布喷嘴喷出，一边使所述涂布喷嘴与所述载台部相对地移动，从而在基板上形成涂布膜，其特征在于，该涂布装置还具有涂布液吸引部，该涂布液吸引部对所述涂布喷嘴内的涂布液进行吸引，所述涂布液吸引部具有吸引源以及吸引用容器，该吸引用容器配置在将该吸引源与所述涂布喷嘴连结的配管路径中，并且该吸引用容器的直径比所述配管的直径大，所述涂布液吸引部的吸引动作是在来自所述涂布喷嘴的涂布液的液面存在于所述吸引用容器中的状态下通过所述吸引源使所述吸引用容器内减压而进行的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东丽工程株式会社，未经东丽工程株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610718005.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
