[发明专利]一种光刻机及方法

摘要

本发明涉及一种光刻机，具体涉及一种曝光装置可旋转的光刻机。包括工作平台、PLC控制系统、曝光装置。组装时，X轴滑动平台与Z轴滑动平台通过滑动槽连接，X轴滑动平台和Z轴滑动平台分别与电机连接，实现平移，曝光装置设置在X轴靠后位置，曝光装置与电机连接，实现调节曝光装置与X轴的夹角，托盘与电机连接，曲面产品放置在托盘上，用设置在托盘的夹角固定，避免旋转过程中被甩出。通过曝光装置照射的光线的垂直入射，提高光刻的均匀性，实现光刻的高精度。

主权项

1.一种光刻机，其特征在于：包括工作平台、PLC控制系统和曝光装置；所述工作平台包括X轴滑动平台、Z轴滑动平台，X轴滑动平台和Z轴滑动平台分别连接有电机，X轴滑动平台和Z轴滑动平台滑动连接；PLC控制系统，用于控制曝光装置照射的光线的角度及X轴滑动平台、Z轴滑动平台的运动轨迹；曝光装置安装于X轴或Z轴滑动平台上，曝光装置连接有第一旋转电机；光刻机还包括样品托盘和第二旋转电机，样品托盘用于放置样品，第二旋转电机连接于样品托盘底部；X轴滑动平台和Z轴滑动平台通过井字型滑动槽滑动连接；在样品托盘上设置有用于固定曲面样品的夹具。