[发明专利]一种基板检测装置有效
申请号: | 201610667660.4 | 申请日: | 2016-08-15 |
公开(公告)号: | CN106198570B | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
发明(设计)人: | 游镇滔 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;G01N21/88 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开一种基板检测装置,包括照明组件、用于承载待检测基板的承托组件以及操作人员所处的站台,照明组件和承托组件分设于站台的相对的两侧。本发明能够避免光纤因晃动而触碰到光栅和待检测基板,以避免宕机和损伤待检测基板,还能够避免因光纤晃动产生的光折射和反射现象及乱流现象,以确保检测结果的准确度和检测环境的洁净度,并且在需要调整灯源的亮度等时,操作人员无需走动,操作简便。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 装置 | ||
【主权项】:
1.一种基板检测装置,其特征在于,所述基板检测装置包括照明组件、用于承载待检测基板的承托组件、以及对所述待检测基板进行检测时操作人员所处的站台,其中,所述照明组件和所述承托组件分设于所述站台的相对的两侧;所述照明组件位于一密封区域内,且包括灯源、电控组件及用于电连接所述灯源和所述电控组件的光纤,在对所述待检测基板进行检测时所述密封区域允许所述灯源和部分所述光纤外漏,在未对待检测基板进行检测时,所述灯源和所述光纤均收纳于所述密封区域内,其中,所述电控组件为灯源箱,所述照明组件还包括手持件和控制件,所述光纤依次通过所述手持件、所述控制件与所述灯源连接;所述基板检测装置还包括位于所述密封区域内且与所述光纤连接的自动回缩组件,用于拉拽所述光纤并带动所述光纤收纳于所述密封区域内;所述基板检测装置还包括邻近于所述照明组件的挂件,所述挂件用于在未对所述待检测基板进行检测时卡持所述手持件以承托所述灯源;其中,所述挂件包括两个间隔设置的且朝向所述操作人员延伸的钢片,两个所述钢片之间的距离大于所述手持件的径向尺寸,且小于所述控制件的径向尺寸。
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