[发明专利]应用光刻胶前烘装置进行光刻胶前烘的方法有效
| 申请号： | 201610666188.2 | 申请日： | 2016-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN106125520B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 卢彦春 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶前烘方法、装置及光刻设备，属于显示技术领域。所述装置包括：加热板和温度调节组件；该加热板包括多个加热单元，该加热板用于通过该多个加热单元对待烘烤基板进行加热；该温度调节组件分别与每个加热单元电连接，用于调节该加热板中每个加热单元的加热参数，该加热参数包括加热温度和加热时长中的至少一种，因此本发明实施例提供的光刻胶前烘装置能够为待烘烤基板上不同的烘烤区域提供不同的加热温度和加热时长，提高了该光刻胶前烘装置的使用灵活性。本发明用于对光刻胶进行前烘。 | ||
| 搜索关键词： | 应用 光刻 胶前烘 装置 进行 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻胶前烘装置，其特征在于，所述装置包括：加热板和温度调节组件；所述加热板包括多个加热单元，所述加热板用于通过所述多个加热单元对待烘烤基板进行加热；所述温度调节组件分别与每个加热单元电连接，用于调节所述加热板中每个加热单元的加热参数，所述加热参数包括加热温度和加热时长中的至少一种。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610666188.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：耳鼻喉科用激光显微镜治疗装置
- 下一篇：一种核级主泵转速传感器
