[发明专利]一种洁净室抗微振结构

摘要

本发明公开了一种洁净室抗微振结构，包括：多个结构立柱、防静电地板、防微振平台结构及OHS运输系统；本发明在普通的地基基础方案中，提出一种设计多变材料和多变刚度结构形式复合协同作业，通过延长振动传递路径，逐级消耗外界振动源传递至振敏对象途中的能量，从而实现了通过基础和结构多级耗能，有效进行微振动控制，从而减小振源对振敏设备产生的不利影响。

主权项

1.一种洁净室抗微振结构，所述洁净室抗微振结构包括：多个结构立柱、防静电地板和防微振平台结构，所述防静电地板通过多个隔振支撑安装至隔振地板支撑结构梁上，所述防微振平台结构位于洁净室内地基中间的隔振坑中并与所述防静电地板和所述隔振地板支撑结构梁隔开，其特征在于：每个结构立柱均立于一个弹性块状地基上，所述弹性块状地基埋在洁净室下面的地基中，所述隔振地板支撑结构梁固定至所述结构立柱下部，所述洁净室抗微振结构还包括OHS运输系统，所述OHS运输系统的运行轨道通过多个轨道吊梁吊在结构主梁上，所述结构主梁固定至所述结构立柱上，所述OHS搬运车在所述运行轨道上运行。