[发明专利]一种多层膜层的中性灰度减光滤镜及其制造方法

摘要

本发明提供了一种多层膜层的中性灰度减光滤镜及其制造方法，其包括基片，所述基片上镀有若干层膜层，所述膜层包括层叠的减反射膜和金属膜，相邻的两个所述金属膜间设有至少一层所述减反射膜，所述减反射膜的构成材料的折射率大于1.30。多层膜层的中性灰度减光滤镜的制造方法，其包括的步骤有(1)将镀膜伞安装到真空室的腔体顶部，所述镀膜伞的旋转轴安装有动力源，所述真空室的腔体底部设有两个镀膜材源，修正板固定在所述真空室内，一端位于两个所述镀膜材源同一侧，采用真空泵将所述真空室抽至预定真空度；(2)所述动力源驱动所述镀膜伞旋转，采用两个所述镀膜材源交替蒸镀所述膜层，所述膜层以预定的光学厚度和预定的次序依次层叠。

主权项

一种多层膜层的中灰渐变减光滤镜的制造方法，所述中灰渐变减光滤镜包括基片，所述基片上镀有若干层膜层，所述膜层包括层叠的减反射膜和金属膜，相邻的两个所述金属膜之间设有至少一层所述减反射膜，所述减反射膜的构成材料的折射率大于1.30；所述减反射膜的膜层光学厚度的范围是1～300nm，所述金属膜的膜层光学厚度的范围是1～320nm，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：(1)将镀膜伞安装到真空室的腔体顶部，所述镀膜伞的旋转轴安装有动力源，所述真空室的腔体底部设有两个镀膜材源，修正板固定在所述真空室内，一端位于两个所述镀膜材源同一侧，采用真空泵将所述真空室抽至预定真空度；(2)将步骤(1)中的所述修正板取下，在所述镀膜伞下方安装挡板，所述挡板上设有多个对称分布的渐变孔；(3)所述动力源驱动所述镀膜伞旋转，采用两个所述镀膜材源交替蒸镀所述膜层，所述膜层以预定的光学厚度和预定的次序依次层叠。