[发明专利]薄膜的检测系统与检测方法

摘要

本申请提供了薄膜的检测系统与检测方法。该检测系统包括多功能传感器、模数转换单元与控制单元，其中，多功能传感器包括三个检测单元，分别是光学检测单元、磁性检测单元与厚度检测单元，三个检测单元用于对待测膜上的各扫描点分别进行光学检测、磁性检测与厚度检测；模数转换单元的输入端与光学检测单元的输出端、磁性检测单元的输出端以及厚度检测单元的输出端电连接，模数转换单元用于将三个检测单元的输出信号分别转化为对应的数字信号；控制单元与多功能传感器以及模数转换单元电连接，用于控制多功能传感器与模数转换单元工作。该检测系统可以同时检测薄膜的三种物理量，并使得检测系统能够产生相同分辨率的不同物理特性的图像。

主权项

一种薄膜的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：多功能传感器，包括三个检测单元，分别是光学检测单元、磁性检测单元与厚度检测单元，三个所述检测单元用于对待测膜上的各扫描点分别进行光学检测、磁性检测与厚度检测；模数转换单元，所述模数转换单元的输入端与所述光学检测单元的输出端、磁性检测单元的输出端以及厚度检测单元的输出端电连接，所述模数转换单元用于将三个所述检测单元的输出信号分别转化为对应的数字信号；以及控制单元，与所述多功能传感器以及所述模数转换单元电连接，用于控制所述多功能传感器与所述模数转换单元工作。