[发明专利]一种LTPS/IGZO玻璃基板破洞快速检测方法

摘要

本发明涉及一种LTPS/IGZO玻璃基板破洞快速检测方法，其技术特点主要包括以下步骤：通过大容量高速并行数字图像采集技术采集LTPS/IGZO玻璃基板图像；图像预处理：包括图像的光学畸变处理、系统震动处理、图像动态对位、二值化处理；对采集到的图片进行感兴趣区域分割；图像匹配：通过建立一个标准模板匹配对分割处理之后的图像进行快速的匹配，从而可以判断出采集到的图像和标准图像之间的差值；缺陷判定。本发明能够快速的对大小为1G的大容量LTPS/IGZO玻璃基板图像的破洞缺陷进行快速检测，缺陷检出率高，计算耗时低，对大容量高像素图片处理速度快，性能可靠。

主权项

1.一种LTPS/IGZO玻璃基板破洞缺陷快速模板匹配检测方法，其特征在于，所述方法包含以下步骤：步骤1，图像预处理；对采集到的图像进行光学畸变处理、系统震动处理、图像动态对位、样品平面校正；步骤2，感兴趣区域分割；使用窗口切割法对预处理之后的图像进行区域分割，将输入的LPTS/IGZO玻璃基板图像分割成小规模的、单一型图像，为快速检测提供图像来源，降低匹配时的计算复杂度，达到快速检测；步骤3，图像匹配；建立标准模板，对分割图像和所述建立标准模板进行对比，并在一定的图像误差允许范围内对图像进行判定，减少由于图像分割误差和拍摄角度不同所带来的匹配误差，提高配准率；步骤4，缺陷判定；使用建立的标准模板对分割之后的图像进行差异比较，去除分割图像的背景，保留下破洞缺陷部分，再通过腐蚀低连通区域，去除噪声影响，膨胀高连通区域，凸显破洞边界，再使用canny算子提取破洞边沿，计算出破洞面积，从而判断是否存在破洞；所述步骤3中，包含以下步骤：步骤3.1，采集n张无缺陷、完好的LTPS/IGZO玻璃基板的分割图像；步骤3.2，计算标准模板：其中fi(x,y)为输入的二维图像，ε(x,y)为输出图像值；步骤3.3，计算标准模板的容差：步骤3.4，计算用于检测的参考模板：I(x，y)＝ε(x，y)±σ步骤3.5，将分割后的输入图片和所建立的参考模板进行粗匹配：EI(x，y)＝DI(x，y)‑I(x，y)输出图像EI(x,y)为原始图像DI(x,y)减去背景，即减去建立的参考模板I(x,y)之后的粗匹配二值图像，其中，所述原始图像DI(x,y)也为输入的分割图像的二值图像。