[发明专利]一种Z轴微旋转平台

摘要

本发明涉及一种Z轴微旋转平台，包括台体和设置在台体内的动台体，动台体的四个直角与台体之间连接有柔性铰链，连接动台体两对角的柔性铰链的中心线与动台体相应的对角线在同一条直线上；台体内设置有两伸入动台体内部的压电陶瓷，两压电陶瓷分别从动台体两平行的侧壁伸入动台体内部，且两压电陶瓷相对动台体的中心呈对角关系；台体内还安装有与压电陶瓷端部相抵的预紧顶丝。本发明通过设置两相对动台体的中心呈对角关系的压电陶瓷，在压电陶瓷通电情况下，能够驱使动台体以其中心为轴心进行旋转，且由于两压电陶瓷对角设置，在工作时能相互消除两自由度上的耦合位移，不会产生旋转误差，定位精度更高。

主权项

1.一种Z轴微旋转平台，其特征在于：包括台体和设置在所述台体内的动台体，所述动台体的四个直角与所述台体之间连接有柔性铰链，连接所述动台体两对角的柔性铰链的中心线与所述动台体相应的对角线在同一条直线上；所述台体内设置有两伸入所述动台体内部的压电陶瓷，两所述压电陶瓷分别从所述动台体两平行的侧壁伸入所述动台体内部，且两所述压电陶瓷相对所述动台体的中心呈对角关系；所述台体内还安装有与所述压电陶瓷端部相抵的预紧顶丝；所述柔性铰链包括连接段和设于所述连接段两端的变形段，两所述变形段分别为与所述台体连接的第一变形段、与所述动台体连接的第二变形段，所述第一变形段及第二变形段的相对两个面上均设有弧度相等的弧形凹槽，所述第二变形段上的两弧形凹槽延伸有连接臂，两所述连接臂分别连接所述动台体两相垂直的侧壁；所述台体内设有四个用于分别容置各所述柔性铰链的凹槽，四个所述凹槽的中心线分别与所述动台体四个直角的对角线在同一条直线上。