[发明专利]一种电化学加工系统

摘要

本发明涉及一种电化学加工系统，包括底座、电解槽以及朝向电解槽的加工电极；所述底座上设有驱动所述电解槽X向运动的X向运动平台和Y向运动的Y向运动平台，以及驱动所述加工电极Z向运动的Z向运动平台，所述Z向运动平台上连接有驱动所述加工电极三自由度微动的微动平台，所述微动平台包括与所述Z向运动平台连接的X向微动平台、与所述X向微动平台连接的Y向微动平台，以及与所述Y向微动平台连接的Z向微动平台；所述电解槽上还连接有检测所述加工电极对所述电解槽施加压力的力传感器；所述加工电极上还连接有检测其对工件加工深度的位移传感器。

主权项

1.一种电化学加工系统，包括-底座、电解槽以及朝向电解槽的加工电极；-所述底座上设有驱动所述电解槽X向运动的X向运动平台和Y向运动的Y向运动平台，以及驱动所述加工电极Z向运动的Z向运动平台，其特征在于：-所述Z向运动平台上连接有驱动所述加工电极三自由度微动的微动平台，所述微动平台包括与所述Z向运动平台连接的X向微动平台、与所述X向微动平台连接的Y向微动平台，以及与所述Y向微动平台连接的Z向微动平台；-所述电解槽上还连接有检测所述加工电极对所述电解槽施加压力的力传感器；-所述加工电极上还连接有检测其对工件加工深度的位移传感器；所述底座上还连接有调整所述X向运动平台和Y向运动平台水平高度的活动底盘，所述活动底盘与所述底座之间连接有第二弹簧，所述活动底盘上连接有将其固定在所述底座上、并调整所述第二弹簧形变量的调整旋钮；所述力传感器上连接有水平的连接板，所述连接板上设有底板，所述底板通过橡胶垫连接有与其平行的支撑板，所述电解槽设置在所述支撑板上，所述电解槽的侧壁上连接有两弹簧压片，所述弹簧压片与所述连接板之间连接有第一弹簧，以及调整所述第一弹簧形变量的调整螺钉。