[发明专利]一种双台面直写式曝光机的曝光系统和曝光方法在审
| 申请号： | 201610627143.4 | 申请日： | 2016-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN106066581A | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 赵永翠;陈海巍 | 申请（专利权）人： | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 翁斌 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区太湖国际科*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于直写式曝光机的技术领域，具体涉及一种双台面直写式曝光机的曝光系统和曝光方法；解决的技术问题为：提供一种结构稳定、曝光效率较高的双台面直写式曝光机的曝光系统和曝光方法；采用的技术方案为：包括支撑板，支撑板通过支撑柱设置于双台面上方，支撑板上设有挖空部，挖空部的两侧分别设置有两根线性导轨，两根线性导轨上设有光路安装板，光路安装板通过驱动机构可在两条线性导轨上作步进运动，步进运动的方向垂直于双台面运动的方向，光路安装板上设有用于发射曝光光束的光路镜筒，光路镜筒的曝光方向朝向所述双台面；本发明适用于PCB板曝光领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 台面 直写式 曝光 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种双台面直写式曝光机的曝光系统，包括支撑板(1)，所述支撑板(1)通过支撑柱(2)设置于双台面(3)上方，其特征在于：所述支撑板(1)上设有挖空部(9)，所述挖空部(9)的两侧分别设置有两根线性导轨(4)，两根线性导轨(4)上设有光路安装板(5)，所述光路安装板(5)通过驱动机构可在两条线性导轨(4)上作步进运动，所述步进运动的方向垂直于所述双台面(3)运动的方向，所述光路安装板(5)上设有用于发射曝光光束的光路镜筒(6)，所述光路镜筒(6)的曝光方向朝向所述双台面(3)。
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