[发明专利]蒸发装置、蒸镀设备和蒸镀方法有效

专利信息
申请号: 201610605160.8 申请日: 2016-07-27
公开(公告)号: CN106119781B 公开(公告)日: 2018-10-30
发明(设计)人: 赵德江 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26;C23C14/54
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 滕一斌
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种蒸发装置、蒸镀设备和蒸镀方法,属于镀膜领域。蒸发装置包括:喂料组件和加热组件;喂料组件用于存储膜料并将膜料在n个连续的时间段内输送至加热组件,n为大于等于2的整数;加热组件用于在喂料组件将膜料在n个连续的时间段内输送至加热组件时,将喂料组件输送的膜料蒸发成为膜料蒸汽。本发明通过蒸发装置中的喂料组件将膜料在n个连续的时间段内输送至加热组件,使得加热组件中的膜料不会堆积过多,解决了相关技术中可能由于加热的不均匀造成部分膜料碳化,进而严重影响镀膜的正常进行的问题,达到了加热组件中加热的膜料较少,加热较为均匀,膜料不会发生碳化的效果,镀膜可以正常进行。
搜索关键词: 蒸发 装置 设备 方法
【主权项】:
1.一种蒸发装置,其特征在于,所述蒸发装置包括:喂料组件和加热组件;所述喂料组件用于存储膜料并将所述膜料在n个连续的时间段内输送至所述加热组件,所述n为大于等于2的整数;所述加热组件用于在所述喂料组件将所述膜料在所述n个连续的时间段内输送至所述加热组件时,将所述喂料组件输送的膜料蒸发成为膜料蒸汽;所述喂料组件包括储料仓和喂料件,所述储料仓用于存放膜料,所述喂料件用于将所述膜料在所述n个连续的时间段内输送至所述加热组件;所述储料仓中的膜料呈粒状,所述喂料件包括喂料通道和叶片轮,所述叶片轮设置在所述喂料通道中,将所述喂料通道分为第一段和第二段,所述第一段与所述储料仓连通,并堆积有所述膜料,所述第二段远离所述叶片轮的端口设置在所述加热组件处,所述叶片轮转动时,预定粒数的所述膜料会从所述第一段进入所述第二段,并由所述第二段进入所述加热组件。
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