[发明专利]识别装置及对位设备有效

专利信息
申请号: 201610595865.6 申请日: 2016-07-26
公开(公告)号: CN106680991B 公开(公告)日: 2019-07-09
发明(设计)人: 孙中元;王伟;倪静凯 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;H01L51/56;H01L27/32
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;刘伟
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种识别装置,用于识别待对位对象,识别装置包括电荷耦合元件CCD,识别装置还包括:第一光路单元,包括与电荷耦合元件CCD同轴设置的第一镜筒,使得待对位对象的成像光束通过第一镜筒传播至电荷耦合元件CCD;第二光路单元,包括一端连接于第一镜筒侧壁的第二镜筒,第二镜筒内设置用于改变光路、以使得待对位对象的成像光束依次通过第二镜筒、第一镜筒传播至电荷耦合元件CCD的反射镜组件;控制待对位对象的成像光束在第一状态和第二状态之间转换的转换结构;在第一状态下,待对位对象的成像光束通过第一光路单元传播至电荷耦合元件CCD;在第二状态下,待对位对象的成像光束通过第二光路单元传播至电荷耦合元件CCD。本发明还涉及一种对位设备。
搜索关键词: 识别 装置 对位 设备
【主权项】:
1.一种识别装置,用于识别待对位对象,所述识别装置包括电荷耦合元件CCD,其特征在于,所述识别装置还包括:第一光路单元,包括与所述电荷耦合元件CCD同轴设置的第一镜筒,使得待对位对象的成像光束通过所述第一镜筒传播至所述电荷耦合元件CCD;第二光路单元,包括一端连接于所述第一镜筒侧壁的第二镜筒,所述第二镜筒内设置用于改变光路、以使得待对位对象的成像光束依次通过第二镜筒、第一镜筒传播至电荷耦合元件CCD的反射镜组件;控制待对位对象的成像光束在第一状态和第二状态之间转换的转换结构;其中,在所述第一状态下,待对位对象的成像光束通过所述第一光路单元传播至所述电荷耦合元件CCD;在所述第二状态下,待对位对象的成像光束通过所述第二光路单元传播至所述电荷耦合元件CCD;所述第二镜筒呈L型结构,所述第二镜筒包括一端与所述第一镜筒连通的第一部分,以及垂直于所述第一部分设置且与所述第一部分连通的第二部分;所述反射镜组件包括:所述第一部分和所述第二部分的连接处设置的第一反射镜,所述第一反射镜使得进入所述第二部分的待对位对象的成像光束的路径发生改变、以沿着所述第一部分的长度方向进行传播;所述第一部分与所述第一镜筒的连接处设置的第二反射镜,所述第二反射镜使得沿所述第一部分传播的光束改变路径以在所述第一镜筒内传播至所述电荷耦合元件CCD;所述转换结构包括设置于所述第一镜筒侧壁的第一连接件,所述第一连接件具有用于能够容纳所述第二反射镜的容纳空间,在所述第一状态下,所述第二反射镜位于所述容纳空间内,待对位对象的成像光束通过所述第一镜筒传播至电荷耦合元件CCD,在所述第二状态下,所述第二反射镜移动至第一位置,通过所述第二镜筒传播的待对位对象的成像光束经所述第二反射镜反射沿所述第一镜筒传播至电荷耦合元件CCD,所述第一位置为所述第一镜筒的与所述第二镜筒连接处。
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