[发明专利]用于1THz波段的太赫兹偏振分束硅光栅有效
| 申请号： | 201610592414.7 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN106054400B | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 冯吉军;李安原;李敏;曾和平 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G02B27/42 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于1THz波段的太赫兹偏振分束硅光栅，镂空的周期排列的矩形硅条纹构成的硅光栅，硅光栅的硅条纹宽度和周期的比值为0.27，光栅的周期为204.6‑219.4微米，硅片厚度为47.6‑51.4微米。此硅光栅对垂直入射的1THz光波，没有高阶衍射存在，仅有零阶的透射与反射波，光栅的消光比大于100。该透射反射式偏振分束光栅具有宽工作角度带宽、结构简单、成本低、高分束效率、高消光比等优点，在太赫兹成像和波谱测量领域中具有重要的实用价值。硅光栅可由飞秒微加工或微光学技术加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 thz 波段 赫兹 偏振 分束硅 光栅 | ||
【主权项】：
1.一种用于1THz波段的太赫兹偏振分束硅光栅，其特征在于，镂空的周期排列的矩形硅条纹构成的硅光栅，硅光栅的硅条纹宽度和周期的比值为0.27，硅光栅的周期为204.6‑219.4微米，硅片厚度为47.6‑51.4微米。
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