[发明专利]光学投影阵列曝光系统

摘要

本公开涉及一种光学投影阵列曝光系统。公开了一种空间光调制器成像系统。该系统包括照明模块、投影模块及照明‑投影光束分离器，该照明模块被配置为提供照明光，其中，该照明光呈现由该空间光调制器成像系统成像的数据图案；该投影模块被配置为将该照明光投射至基板；该照明投影光束分离器耦接于该照明模块与该投影模块之间；其中，该照明一投影光束分离器被配置为接收沿照明光轴的该照明光，并将所接收的照明光沿投影光轴传送至该投影模块，其中该照明光轴与该投影光轴实质上彼此平行。

主权项

1.一种空间光调制器成像系统，包括：照明模块，被配置为提供照明光；投影模块，被配置为将该照明光投射至基板，其中该投影模块包括下列各项中的至少一项：一比一放大倍率投射系统，提供以一比一的放大倍率投射的数据图案；及六比一放大倍率缩小系统，提供以六比一之放大倍率缩小的数据图案；及照明‑投影光束分离器，耦接于该照明模块与该投影模块之间，包括：第一棱镜，所述第一棱镜被配置为接收沿照明光轴的该照明光，其中所述第一棱镜包括：第一表面；第二表面；以及第一斜边；以及第二棱镜，所述第二棱镜被配置为将接收的该照明光沿投影光轴传送至该投影模块，其中所述第二棱镜包括：第三表面；第四表面；以及第二斜边；其中，所述第一斜边和所述第二斜边彼此相对，并且其中，所述第一斜边和所述第二斜边被空气间隙所分离，其中该照明光轴与该投影光轴实质上彼此平行，其中，所述一比一放大倍率投射系统以及所述六比一放大倍率缩小系统共用相同的照明模块和照明‑投影光束分离器，其中该照明模块包括：多个激光二极管，被配置为产生该照明光；以及多个光纤束，被配置为将该照明光传送至该照明‑投影光束分离器；该照明‑投影光束分离器还包括：光束定向调整器，位于该第一棱镜附近，该光束定向调整器被配置为调整该照明光，使该照明光以相对于位于第二棱镜附近的数字微镜装置DMD的法线的预定入射角进入DMD，且该预定入射角实质上等于该DMD的倾角的两倍。