[发明专利]六边形通道的硅光导管有效
| 申请号： | 201610575965.2 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN105954829B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/00 | 分类号： | G02B6/00 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂汉钦 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种六边形通道的硅光导管，包括硅基衬底；所述硅基衬底之上外延有第一硅氧化物层；所述第一硅氧化物层之上生长有截面为正六边形的硅区域；所述硅区域的底边与第一硅氧化物层的表面相重合；以所述硅区域的正六边形的截面的呈水平方向的中轴线为界，在此中轴线与所述第一硅氧化物层之间、所述硅区域的外围包裹有第二硅氧化物层，在所述第二硅氧化物层之上、所述硅区域的外围包裹有第三硅氧化物层；所述硅区域的横截面的对角线的长度1μm～3μm。本发明中的光传导通道为正六边形，由基本的数学知识可知，相对于正四边形的光传导通道而言，本发明更接近理想的横截面为圆形的光传到通道，传导效果更理想。 | ||
| 搜索关键词： | 六边形 通道 导管 | ||
【主权项】：
1.一种六边形通道的硅光导管，其特征在于，包括硅基衬底(1)；所述硅基衬底(1)之上外延有第一硅氧化物层(2)；所述第一硅氧化物层(2)之上生长有截面为正六边形的硅区域(4)；所述硅区域(4)的底边与第一硅氧化物层(2)的表面相重合；以所述硅区域(4)的正六边形的截面的呈水平方向的中轴线为界，在此中轴线与所述第一硅氧化物层(2)之间、所述硅区域(4)的外围包裹有第二硅氧化物层(3)，在所述第二硅氧化物层(3)之上、所述硅区域(4)的外围包裹有第三硅氧化物层(5)；所述硅区域(4)的横截面的对角线的长度1μm～3μm。
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