[发明专利]一种石墨烯带状电子注场发射冷阴极及其生产方法

摘要

该发明属于石墨烯带状电子注场发射冷阴极及其生产方法。冷阴极包括基片及其上的金属膜电极，各石墨烯场发射体及设于其间及顶层的绝缘介质加强层；生产方法为：基片的处理、石墨烯薄膜的制备、金属膜电极的设置、石墨烯的转移、单层及多层石墨烯带状电子注场发射冷阴极的制作。该发明设置金属膜电极、采用石墨烯作冷阴极的发射体，发射端通过切割而成，在外加电场下会产生极强的尖端效应，既有利于提高发射电流、又可有效地降低场发射阴极的工作电压；因而具有可有效降低带状电子注冷阴极的开启场和阈值场，发射电流大、功率高，电子注发射稳定性好、体积小，以及生产工艺简单、生产效率高并可确保器件性能的一致性，易于工业化生产等特点。

主权项

1.一种石墨烯带状电子注场发射冷阴极，包括绝缘基片或上表面覆盖绝缘层的导电材料基片，场发射体，其特征在于在基片上表面后侧还设有一金属膜电极，在基片和金属膜电极的上表面还设有一层或多层石墨烯薄膜作为场发射体；其中：当在基片和金属膜电极的上表面仅设一层石墨烯薄膜时、在正对基片部位的石墨烯上还设有一绝缘介质加强层，当在基片和金属膜电极的上表面设置多层石墨烯薄膜时、在正对基片部位的各石墨烯薄膜层之间及顶层石墨烯薄膜上均分别设一绝缘介质加强层，而在正对金属膜电极部位的各石墨烯薄膜层之间则相互紧贴成一体并通过底层石墨烯薄膜与金属膜电极接通。