[发明专利]贴合设备的制造装置及制造方法有效
| 申请号： | 201610509484.1 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106313858B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 大谷义和 | 申请（专利权）人： | 信越工程株式会社 |
| 主分类号： | B32B37/10 | 分类号： | B32B37/10;B32B37/12 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李鹏宇<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供贴合设备的制造装置及制造方法。去除残留在下侧工件的局部应力以平滑状态与上侧工件贴合。上侧保持部件具有上侧工件保持无法移动的保持部。下侧保持部件具有：浮起部，具备在与下侧工件间产生反方向的分离压力及接近压力的机构；及接触保持部，具备调整分离压力及接近压力的机构。控制部相对下侧保持部件使下侧工件保持浮起部的分离压力及接近压力的平衡，下侧工件从下侧卡盘面浮起非接触地被支承。从浮起部切换为接触保持部，使接近压力比分离压力逐渐增大，下侧工件被接触保持在下侧卡盘面。通过升降驱动部使上侧保持部件或下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动，通过保持部被保持在上侧卡盘面的上侧工件与下侧工件重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 贴合 设备 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种贴合设备的制造装置，在贴合空间中将上侧工件保持在上侧保持部件且将下侧工件保持在下侧保持部件，通过所述上侧保持部件与所述下侧保持部件相对接近移动，贴合所述上侧工件与所述下侧工件，所述贴合设备的制造装置的特征在于，具备：/n所述上侧保持部件，配置于所述贴合空间且具有安装自如地保持所述上侧工件的上侧卡盘面；/n所述下侧保持部件，配置于所述贴合空间且具有安装自如地保持所述下侧工件的平滑的下侧卡盘面；/n升降驱动部，使所述上侧保持部件或所述下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动来重叠所述上侧工件及所述下侧工件；及/n控制部，对所述上侧卡盘面、所述下侧卡盘面及所述升降驱动部分别进行动作控制，/n所述上侧保持部件具有所述上侧工件被保持为无法移动的保持部，/n所述下侧保持部件具有：浮起部，具备在与所述下侧工件之间分别产生反方向的分离压力及接近压力的机构；及接触保持部，具备调整所述分离压力及所述接近压力的机构，/n所述控制部如下进行控制：保持所述浮起部的所述分离压力及所述接近压力的平衡，以所述下侧工件从所述下侧卡盘面浮起的方式相对于所述下侧保持部件非接触地支承所述下侧工件，从所述浮起部切换为所述接触保持部，使所述接近压力相比所述分离压力逐渐增大而所述下侧工件被接触保持在所述下侧卡盘面，通过所述升降驱动部使所述上侧保持部件或所述下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动，通过所述保持部被保持在所述上侧卡盘面的所述上侧工件与所述下侧工件重叠。/n
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