[发明专利]一种密封圈有效
| 申请号： | 201610498806.7 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106122627B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 邢杰;张弢;蒋德念 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F16L23/18 | 分类号： | F16L23/18;F16L23/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种密封圈，包括：环形密封本体，设于两个连接部件的密封面之间，用于对连接部件进行防漏液密封；至少一金属线圈，环绕密封本体的周向埋设于其近表面的内部；通过对金属线圈的电阻值进行检测，并与一设定阈值进行比较，以在其电阻值达到或超过该设定阈值时，判断密封本体发生漏液。本发明可在保证不存在漏液危险的条件下，对各种液体都达到密封圈最大的使用限度，从而可避免需要对各种不同液体制定不同使用周期的困境，因此可在有效防止漏液的基础上，真正做到对密封圈的使用周期进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封圈 | ||
【主权项】：
1.一种密封圈，应用于化学机械研磨设备，其特征在于，所述密封圈包括：环形密封本体，设于两个连接部件的密封面之间，用于对连接部件进行防漏液密封；至少一金属线圈，环绕密封本体的周向埋设于其近表面的内部，以当密封本体发生自然老化龟裂或被液体腐蚀时，金属线圈能够接触到由裂口进入的液体；其中，通过对所述金属线圈的电阻值进行检测，并与一设定阈值进行比较，以在其电阻值达到或超过该设定阈值时，判断所述密封本体发生漏液，控制密封圈的使用周期；所述设定阈值大于所述金属线圈的固有阻值。
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