[发明专利]一种基于飞秒激光直写的光纤法布里-珀罗传感器的快速制备方法

摘要

本发明公开了一种基于飞秒激光直写的光纤法布里‑珀罗传感器的快速制备方法，在具有光滑端面的光纤末端利用飞秒激光沿垂直光纤轴线的方向快速扫描，加工出深度到达光纤纤芯位置的狭槽，由狭槽端面和光纤末端的光滑端面构成法布里‑珀罗传感器结构，还可进一步通过镀膜提高F‑P传感器的反射率。该方法不同于传统利用飞秒激光加工技术制备微腔或通孔时应采用慢速加工的方法，而是采用快速扫描，其加工效率非常高，对于1kHz飞秒激光扫描速度在50μm/s以上，加工时间小于1s。与现有技术相比，本发明的加工工序更为简单，加工速度快，适合批量加工，制得的F‑P传感器可在很宽的温度范围内实现高灵敏度、高线性的温度传感。

主权项

1.一种基于飞秒激光直写的光纤法布里‑珀罗传感器的快速制备方法，其特征在于，其步骤为：在具有光滑端面的光纤末端，利用飞秒激光沿垂直光纤轴线的方向快速扫描，加工出深度到达光纤纤芯位置的狭槽，由狭槽端面和光纤末端的光滑端面构成法布里‑珀罗传感器结构；其中快速扫描是指对于1kHz的飞秒激光脉冲，其扫描速度在50μm/s以上；具体步骤为：1)利用切割刀在光纤末端垂直于光纤轴切割出光滑端面；2)将光纤末端固定，在空气氛围中利用飞秒激光沿垂直于光纤轴的方向横向快速扫描，切割出狭槽，狭槽的深度到达光纤纤芯位置；其中，狭槽的长度为光纤纤芯直径的2～9倍，狭槽在纤芯处的宽度小于5μm，快速扫描是指对于1kHz的飞秒激光脉冲，其扫描速度在50μm/s以上，飞秒激光的扫描次数为单次或者两次；3)将扫描后的光纤清洗干净，由狭槽端面和光纤末端的光滑端面构成法布里‑珀罗传感器结构。