[发明专利]一种带品质智能检测系统的真空镀膜设备在审
| 申请号： | 201610495742.5 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN105986237A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带品质智能检测系统的真空镀膜设备，包括真空室和均设置在真空室的隔板、多个磁控靶、基材、离子处理器、运行线路组件；运行线路组件包括沿着基材运行路径依次设置的放卷辊、第一导辊、第二导辊、第一检测辊、第三导辊、水冷鼓、第四导辊、第二检测辊、第五导辊、第六导辊、收卷辊；多个磁控靶沿着水冷鼓圆周表面的圆周方向布置，水冷鼓的两侧均设置一块隔板，用于对基材进行处理的离子处理器设置在真空室上；品质智能检测系统包括打标靶和测厚仪，测厚仪和打标靶沿着基材的运行方向依次设置在第四导辊和第六导辊之间。本发明能自动标记有缺陷的镀膜基材，提高生产效率，降低生产成本，属于真空镀膜的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 品质 智能 检测 系统 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种带品质智能检测系统的真空镀膜设备，其特征在于：包括真空室和均设置在真空室的隔板、品质智能检测系统、多个磁控靶、基材、离子处理器、用于控制基材运行的运行线路组件；运行线路组件包括沿着基材运行路径依次设置的放卷辊、第一导辊、第二导辊、第一检测辊、第三导辊、水冷鼓、第四导辊、第二检测辊、第五导辊、第六导辊、收卷辊；多个磁控靶沿着水冷鼓圆周表面的圆周方向布置，水冷鼓的两侧均设置一块隔板，用于对基材进行处理的离子处理器设置在真空室上；品质智能检测系统包括打标靶和测厚仪，测厚仪和打标靶沿着基材的运行方向依次设置在第四导辊和第六导辊之间；放卷辊、第一导辊、第二导辊、第一检测辊、第三导辊、第四导辊、第二检测辊、第五导辊、第六导辊、收卷辊、离子处理器、品质智能检测系统均位于隔板的上方，磁控靶位于隔板的下方。
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