[发明专利]一种基于DVD光学读取头和悬臂结构的低频微纳振动测试仪在审
| 申请号： | 201610482970.9 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN105953908A | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 李瑞君;周蕊;刘士达;常振鑫;袁杰;章文 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于DVD光学读取头和悬臂结构的低频微纳振动测试仪，主要利用改装后的DVD光学读取头和悬臂式结构的低频微纳振动测试仪。本发明首次将改装后的DVD光学读取头应用于微振动的测量，测量精度更高，线性范围更大，测量频率更低，测振仪成本更低廉；通过对基座和悬臂的设计，使其能够测量更低频的振动。此外本测振仪还包括处理电路及微调装置。本发明测量振动范围能够达到±10µm，频率小于10 Hz，且分辨率10nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 dvd 光学 读取 悬臂 结构 低频 振动 测试仪 | ||
【主权项】：
一种基于DVD光学读取头和悬臂结构的低频微纳振动测试仪，包括DVD光学读取头、悬臂，悬臂通过夹持装置固定于基座上，夹持装置通过螺孔固定于基座上，悬臂尾端正下方设置一个凹槽，悬臂尾端的正上方放置一光路转折装置（4），在光路转折装置水平方向正对于DVD光学读取头，基座四个转角处设有螺孔（5），用于测试仪和被测平台的固定；悬臂尾端端部粘有一阻尼臂，悬臂尾端端部上表面贴有一个反射镜，下表面贴有配重块，阻尼臂下端伸入到凹槽的阻尼液中。
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