[发明专利]一种高灵敏柔性可穿戴应变传感器及其低成本制作方法

摘要

本发明属于传感器领域，具体涉及一种高灵敏柔性可穿戴应变传感器及其低成本制作方法。所述传感器包括柔性基底、位于柔性基底上的敏感层和位于敏感层两端的电极，敏感层为石墨纳米颗粒膜，敏感层使用热蒸发沉积方式制备。本发明的传感器的敏感层和电极之间为欧姆接触。敏感层是纳米级别的连续石墨颗粒膜，当传感器受到外界的应变的时候，纳米颗粒之间接触发生迅速响应，改变导电路径和接触面积，从而自身电阻发生明显变化，将输入的应变转变为电信号输出，能够实现高灵敏的应变探测，且响应时间短、响应度高、能够对一定范围的应变进行探测。且本发明传感器制备方法简单，成本低。

主权项

一种高灵敏柔性可穿戴应变传感器，包括柔性基底、位于所述柔性基底上的敏感层和位于所述敏感层两端的电极，其特征在于，所述敏感层为石墨纳米颗粒膜。