[发明专利]一种乙硅烷储罐在审
| 申请号： | 201610469359.2 | 申请日： | 2016-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN106090598A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 黄晓东;谢嵩嶽 | 申请（专利权）人： | 浙江迅鼎半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C1/12 | 分类号： | F17C1/12;F17C5/02;F17C13/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种乙硅烷储罐，包括密封填充仓，真空夹套和支撑架，所述的密封填充仓为圆柱形壳体，所述壳体垂直固定在支撑架上，所述密封填充仓的顶部设有充填口，所述密封填充仓的下部设有凹陷的定位槽。本申请的乙硅烷储罐可使储罐在竖直状态下填装乙硅烷，保证储罐的填充效果，避免储罐过早溢满情况的发生，同时通过真空夹套的设计，提高了乙硅烷的保温效果，避免环境温度对乙硅烷储存的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 | ||
【主权项】：
一种乙硅烷储罐，其特征在于，包括密封填充仓，真空夹套和支撑架，所述的密封填充仓为圆柱形壳体，所述圆柱形壳体的外部是真空夹套，所述夹套内为‑30℃乙二醇冷却介质，所述圆柱形壳体垂直固定在支撑架上，所述密封填充仓的顶部设有充填口，所述密封填充仓的下部设有凹陷的定位槽。
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