[发明专利]一种不锈钢真空多弧离子镀膜卧式炉在审
申请号: | 201610468043.1 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN105970161A | 公开(公告)日: | 2016-09-28 |
发明(设计)人: | 李晓马 | 申请(专利权)人: | 李晓马 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明一种不锈钢真空多弧离子镀膜卧式炉的,主要包括炉体,其特征为:所述炉体内有一个炉芯,蒸发源安装在炉芯内侧,所述炉体上安装有炉盖,所述炉体的内壁上安装有气缸,所述炉体的炉口出安装有发热管安装座,所述发热管安装座上安装有发热管,所述炉体的内壁上安装有内置减速机的电机和传动机构;本发明的主要有点为:1、节约能耗,降低成本2、结构合理,安装方便3、自动化程度高,节约劳动力4、产品质量稳定,故障率低。 | ||
搜索关键词: | 一种 不锈钢 真空 离子 镀膜 卧式 | ||
【主权项】:
本发明一种不锈钢真空多弧离子镀膜卧式炉,主要包括炉体(1),其特征为:所述炉体(1)内有一个炉芯,蒸发源(4)安装在炉芯内侧,所述炉体(1)上安装有炉盖(2),所述炉体(1)的外壁上安装有气缸(5),所述炉体(1)的炉体上安装有发热管安装座(8)。
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