[发明专利]收集镜片面型的简便检测装置及基于该装置的检测方法

摘要

收集镜片面型的简便检测装置及基于该装置的检测方法，涉及毛细管放电Z箍缩极紫外光源收集镜片面型的简便检测技术。为了解决现有检测装置无法检测轴长比较长的大口径收集镜片的内表面面型的问题。半导体激光器出射的激光入射至毛玻璃，由毛玻璃的小圆孔透射的光经收集镜片汇聚至CCD传感器；计算机用于测量CCD传感器接收到的光斑和记录光斑信息。调整第一五维调整台使半导体激光器出射激光的光轴与毛玻璃上小圆孔的轴线重合；调节收集镜片支撑件，使收集镜片的轴线与所述光轴重合；调节第二五维调整台及可升降套筒使CCD传感器接收到光束；根据计算机得到光斑信息，判断收集镜片是否符合要求。本发明适用于检测收集镜片的内表面面型。

主权项

收集镜片面型的简便检测装置，其特征在于，包括半导体激光器(1)、毛玻璃(2)、CCD传感器(3)、第一五维调整台(4)、第二五维调整台(5)、收集镜片支撑件(6)和计算机；毛玻璃(2)上贴有黑色纸片，黑色纸片上开有小圆孔；半导体激光器(1)出射的激光入射至毛玻璃(2)，由毛玻璃(2)的小圆孔透射的光经收集镜片(7)汇聚至CCD传感器(3)；收集镜片支撑件(6)将收集镜片(7)固定在光路中，半导体激光器(1)和毛玻璃(2)固定在第一五维调整台(4)上，CCD传感器(3)固定在第二五维调整台(5)上，计算机与CCD传感器(3)的输出端相连，计算机用于测量CCD传感器(3)接收到的光斑和记录光斑信息。