[发明专利]超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法在审
| 申请号： | 201610415169.2 | 申请日： | 2016-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN107504907A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 胡国行;单尧;谷利元;贺洪波;曾爱军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/552 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 张泽纯,张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法，本发明通过采集不同起偏角和不同检偏角下的等离子体共振图像，分析得出等离子体共振诱导的椭偏参数曲线，拟合椭偏参数曲线，将最优解作为测量结果，得到超薄薄膜的厚度和光学常数。本发明具有在线实时非接触性测量、不会破坏待测样品表面和测量精度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄 薄膜 厚度 光学 常数 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置，包括激光器(1)，其特征在于：沿该激光器(1)的激光输出方向依次是扩束器(2)、1/4波片(3)、起偏器(4)、补偿器(5)和直角三棱镜(6)的一个直角平面，该直角三棱镜(6)的斜边通过折射率匹配液连接到平凸球面透镜(7)的平面，该平凸球面透镜(7)的凸面的顶点与位于玻璃基底(9)上的待测薄膜样品(8)点接触，沿所述的直角三棱镜(6)的另一个直角平面的垂直方向依次是检偏器(10)、成像透镜组(11)和CCD(12)，所述的CCD(12)的输出端与计算机(13)的输入端相连，所述的计算机(13)的一个输出端与电机驱动器(14)的控制端相连，所述的起偏器(4)和检偏器(10)在所述的电机驱动器(14)驱动下分别旋转。
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